低气压试验箱的真空系统组成部分是由真空泵、储气罐、真空管道、真空阀门以及PLC程序设计的控制系统等组成的成套真空系统。目前，此系统被大量的用在电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。此真空系统在出厂时就已经包含了抽速控制、进气过滤、重要的核心运行数据显示、运行保护以及远程控制接口等试验所需因素。只要在现场对电源和管道进行简单的链接,就能够形成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,是以触摸屏为人机界面的形式,来实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

　　低气压试验箱的真空系统工作原理是启动系统，主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动。由此循环往复，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要求。

　　低气压试验箱的真空系统真空度的测量是选用压力传感器进行测量该真空规采用压力应变实现真空度测量，测量数据为线形电信号，可直接输入设备控制器进行显示和控制。